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    [分享]大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設計 [復制鏈接]

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    離線寒夜
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發表于: 2016-03-13
    口徑精度斐索干涉球面參考鏡設計.PDF,需要的下載 7&NRE"?G  
    pw:<a2.  
    摘要:設計了一款口徑為30.48cm高精度斐索激光干涉儀參考鏡, 其犉數為0.82, 參考面半徑為224.99mm。所設計的參考鏡其透射波前峰谷值為0.095λ, 均方根值為0.028λ, 透射波前斜率最大值為11μrad 。理論分析了參考鏡的回程誤差對面形檢測精度的影響, 其最大值為0.29nm。 利用Zemax光學設計軟件對參考鏡進行了仿真分析, 仿真與實驗結果表明, 該標準鏡頭可滿足精度1nm的元件面形檢測需求。
    附件設置隱藏,需要回復后才能看到
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    cyqdesign 光幣 +10 - 2016-03-13
     
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    離線200833
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    只看該作者 1樓 發表于: 2016-03-13
    謝謝提供,下來學習一下。
    離線superyu2009
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    只看該作者 2樓 發表于: 2016-03-14
    謝謝樓主 學習一下
    離線zhao6116713
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    只看該作者 3樓 發表于: 2016-03-14
    看看,學習一下
    離線礪劍158
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    只看該作者 4樓 發表于: 2016-03-14
    看下,學習下 w^R5/#F_r  
    離線hytc42
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    只看該作者 5樓 發表于: 2016-03-14
    謝謝, Vx* =  
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    離線a578981085
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    只看該作者 6樓 發表于: 2016-03-14
    學習學習
    離線jsmcu
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    只看該作者 7樓 發表于: 2016-03-14
    仔細看看先
    離線measure123
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    只看該作者 8樓 發表于: 2016-03-14
    學習學習,謝謝分享
    離線ds1234567
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    只看該作者 9樓 發表于: 2016-03-14
    謝謝, awB1ryrOF  參考下
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