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    [分享]變傾角移相斜入射動態干涉儀 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發表于: 2019-08-22
    關鍵詞: 干涉儀
    摘要:為了快速獲取不平整度達數微米量級的光學表面面形分布,提出一種基于變傾角移相的斜入射動態干涉方案。 基于邁克耳遜干涉儀主光路系統,采用 2×2 點光源陣列,通過精確控制各點光源在干涉腔的入射傾角,引入等間隔移 相,結合透鏡陣列實現空間分光,在單個 CCD 上同時采集四幅移相干涉圖,實現動態測量。在 68°斜入射角下測量了 口徑 35 mm 硅片的平整度,均方根(RMS)值為 1.631 μm,峰谷(PV)值為 9.082 μm。實驗結果表明,將變傾角同步移 相技術引入斜入射干涉系統,可以克服環境震動的干擾,在保證高精度的前提下拓寬了可見光干涉儀的測量范圍。 @T;O^rE~N  
    X-:Ni_O\ty  
    關鍵詞:干涉測量;斜入射;動態干涉儀;表面平整度 }2`[email protected]  
    4TwU0N+>  
    附件: 變傾角移相斜入射動態干涉儀.rar (1047 K) 下載次數:10 ,售價:2光幣[記錄]
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    cyqdesign 光幣 +5 - 2019-08-22
     
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    離線吳甜甜
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    只看該作者 1樓 發表于: 2019-08-22
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    離線qiuyu
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    只看該作者 2樓 發表于: 2019-09-18
    學習了解
    離線千王之王
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    只看該作者 3樓 發表于: 2019-10-28
    謝謝樓主分享
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